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Flexible Elemente für die Halbleiterfertigung

Komponenten für die Produktionsanlagen der Halbleiterindustrie produzieren wir in eigens dafür geschaffenen Reinräumen.

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Mikroelektronik- und Halbleiterfertigung

Die Halbleitertechnik, also die Fertigung elektronischer Produkte auf Basis von Halbeitermaterialien stellt heute einen der wichtigsten Industriezweige weltweit dar. Die Fertigung von Mikroprozessoren oder Speicherchips setzt in hohem Maße die Verwendung anspruchsvollster chemisch-physikalischer Verfahren, wie Ätz-, Reinigungs- und Beschichtungsprozesse voraus. Diese wären ohne unsere flexiblen Elemente so nicht herstellbar.

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Für die Mikroelektronik- und Halbleiterfertigung

Dauerfeste Metallbälge für Vakuumventile
Membranbälge mit höchster Beweglichkeit
Metallschläuche für Anwendungen die extremste Sauberkeit erfordern
Präzisionsbälge/ -aktuatoren für Optikanwendungen

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Hochwertige Produktionsinfrastruktur

Diverse automatisierte und manuelle Anlagen zur wässrigen Bauteilreinigung
Vakuumtrocknung für höchste Ansprüche an Bauteilrestfeuchtigkeit
Eigenständige Produktionsumgebung mit Reinräumen bis Klasse 5 gem. ISO 14644

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Qualität vom Weltmarktführer

Zur Sicherung unserer Bauteilqualität bieten wir alle gängigen Bauteilprüfungen auch unter Reinraumbedigungen:

Dichtheitsprüfung mittels Helium-Lecktest
Visuelle Oberflächenkontrolle mittels UV-Licht
Analyse metallischer und organischer Partikel
Qualifizierung des Ausgasverhaltens

Eine individuelle, reinraumtaugliche Verpackung ermöglicht das direkte Einschleusen unserer Produkte.